ASML新任CEO近日公开表示,两台High NA EUV光刻机(单台设备的售价约为3.5亿美元)已经在英特尔安装完成了。作为目前全球最先进,也是最贵的光刻机,ASML宝石,High NA EUV光刻机不太可能像最初的EUV光刻机那样出现延迟。
“我们只能期待它相对快速地推出和采用,因为High NA EUV光刻机更像是EUV光刻机的“升级款”,而不是一个全新的产品。”
有趣的是,台积电以成本为由,迟迟不肯接受High NA。在外界看来,这有点像台积电的谈判游戏,也许是在与ASML争夺更好的条件。
这台EUV已于去年年底运抵其位于俄勒冈州的D1X工厂,英特尔计划在2025年年底开始使用该系统进行生产。
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